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ロータリーポンプとは、内部の羽が回転して空気をくみ出し、真空状態にすることで動くポンプのこと。油回転真空ポンプとも呼ばれます。汎用性が高く価格帯も10~30万円程度と安価なため、真空ポンプのなかで最も利用されているひとつです。
1900年代のはじめに発明されて以来、ロータリーポンプは真空状態をつくる多くのシーンで活躍してきました。コンパクトで据え付けが簡単なのも、広く使われている大きな理由です。
駆動させるときに真空ポンプ油を使用することで、回転部の動きをなめらかにしながら気密性を高めることができます。これにより安定した真空状態が実現します。ただし、使用するにつれて油が変質したり減少したりするため、定期的な油の交換が必要です。
ロータリーポンプには大きく3つのタイプに分かれています。
シリンダーの内側に2枚の羽根(ベーン)があり、このベーンがシリンダー内を3つの空間に分類します。ローターの回転とともに、空間の気体が圧縮されながら排出されることで真空状態を作り出します。吸着・搬送機械の真空源として、電子電機や食品機械、印刷機械、歯科業界、半導体業界などで広く利用されています。
円筒形のステーターの中心に偏心ロータが設置されており、ロータが1回転する間にステータとロータ間のすき間の空気を排気することで真空排気が行われます。
偏心ローターの回転によってピストンが上下首振り運動を行うことで、シリンダで囲まれた空間の容積が変化。気体を排気弁から排出して真空をつくり出します。油回転ポンプでは難しい、 大きな排気量を必要とする用途に使われています。
操作や据え付けが簡単といっても、利用方法によっては専門的な知識を必要とする場合もあります。利用する環境や用途に合わせて最適なポンプを選びましょう。
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